在生產(chǎn)多晶硅的過程中，通常會(huì)產(chǎn)生大量的廢氣和殘液。廢氣中主要含有大量的HCl、SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、H2、N2等氣體，而殘液中主要含有氯化烷和微量硅粉。由于氯硅烷極易容易水解，通常采用稀的氫氧化鈉溶液淋洗氯硅烷殘液和氯硅烷氣體，還有少量的氯化氫，使氯硅烷和氯化氫全部水解中和，生成氯化鈉和硅膠的混合物。硅膠在經(jīng)過攪拌機(jī)攪拌后經(jīng)過渣漿泵被送去壓濾機(jī)實(shí)施固液分離操作，濾渣運(yùn)送到渣場統(tǒng)一堆放。分離出的硅膠經(jīng)刮板機(jī)刮出后送入污泥搜集池，之后再用潛水式污泥泵將沉底的硅膠打入到攪拌池內(nèi)，經(jīng)攪拌后被送入到壓濾機(jī)再實(shí)施固液的分離。

去除掉硅膠的工業(yè)廢水是鹽類廢水，這些廢水普通呈酸性，酸堿度值大約為2。廢水經(jīng)過酸堿中和，之后經(jīng)蒸發(fā)，結(jié)晶，過濾把鹽類提取出來。經(jīng)過處置后的水會(huì)返回到生產(chǎn)中循環(huán)運(yùn)用。目前國內(nèi)的很多企業(yè)并沒有思索到將鹽回收，而將其集中堆放。

1、蒸發(fā)器的工作原理

蒸發(fā)過程是指對含有不揮發(fā)溶劑的溶液實(shí)施加熱，使水分蒸發(fā)出來，剩下的溶劑濃度會(huì)不時(shí)增加。在此蒸發(fā)過程中會(huì)用到蒸發(fā)器。在蒸發(fā)過程中會(huì)產(chǎn)生大量的二次蒸汽，將二次蒸汽不時(shí)移出使溶液和蒸汽處于動(dòng)態(tài)均衡，在這種均衡態(tài)下蒸發(fā)過程無法實(shí)施。假如將二次蒸汽直接冷凝移出，這種操作稱為單效蒸發(fā)。若將二次蒸汽直接引去第二級(jí)的蒸發(fā)器入口處，使二次蒸汽作為第二級(jí)蒸發(fā)器的加熱源，這種將二次蒸汽潛熱有效應(yīng)用的辦法稱之為多效蒸發(fā)。

蒸發(fā)過程有如下幾個(gè)特性：

（1）傳熱性質(zhì)

傳熱壁面的兩側(cè)都發(fā)作相變過程，一側(cè)為溶液沸騰，另一側(cè)為蒸汽冷凝，這種蒸發(fā)過程屬于恒溫傳熱過程。

（2）溶液沸點(diǎn)的改動(dòng)

普通狀況下含有不蒸發(fā)溶質(zhì)的溶液，其飽和蒸汽壓比擬高溫度下純水的飽和蒸汽壓要低。也就是說，在相同的壓力下，純水的沸點(diǎn)要比溶液的沸點(diǎn)低。因而，當(dāng)加熱蒸汽的量相同時(shí)，蒸發(fā)純水的溫差要比蒸發(fā)溶液的大。通常溶質(zhì)組成含量越高，這種現(xiàn)象越明顯。

（3）溶液性質(zhì)

溶液的粘度隨著蒸發(fā)過程的實(shí)施會(huì)越來越大，同時(shí)腐蝕性溶質(zhì)的腐蝕性能也越來越大。在蒸發(fā)過程中析出晶體，在高溫下容易聚合或者合成。有時(shí)會(huì)隨著過程的實(shí)施生成泡沫或者會(huì)結(jié)垢。

（4）泡沫夾帶

由于夾帶液沫容易損失物料和污染冷凝設(shè)備。因而在二次蒸汽冷凝時(shí)必需將其夾帶的液沫除掉。

（5）能源應(yīng)用在蒸發(fā)過程中通常會(huì)產(chǎn)生二次蒸汽，其潛熱宏大，需求有效發(fā)揮其應(yīng)用價(jià)值。

2、多晶硅生產(chǎn)過程中用于處置鹽類廢水的各種蒸發(fā)器

目前國內(nèi)在多晶硅生產(chǎn)過程中普通可采用薄膜蒸發(fā)器，三效蒸發(fā)器和四效蒸發(fā)器等設(shè)備用于處置鹽類廢水。它們都是應(yīng)用蒸發(fā)濃縮的原理將廢水中的水蒸發(fā)進(jìn)來，NaCl冷凝結(jié)晶出來以完成廢水的有效分離。

2.1 薄膜蒸發(fā)器工作原理

薄膜蒸發(fā)器是一種現(xiàn)代化的高效蒸發(fā)器，需求真空操作，經(jīng)過旋轉(zhuǎn)的刮膜器強(qiáng)迫成膜，并在高流速下實(shí)施活動(dòng)。這種辦法停留時(shí)間短，傳熱效率高。在此過程中，連續(xù)進(jìn)料在加熱面被刮膜器持續(xù)不時(shí)的刮成厚度平均的液膜，隨之液膜向下挪動(dòng)，在向下活動(dòng)的過程中殘留物從底部被排出，而低沸點(diǎn)的組分就會(huì)被蒸發(fā)出，進(jìn)入大氣中。

2.2 三效蒸發(fā)器的工作原理

三效蒸發(fā)器采用串聯(lián)的方式。第一個(gè)蒸發(fā)器產(chǎn)生的二次蒸汽為應(yīng)用其蒸發(fā)潛熱，將熱量引入到第二個(gè)蒸發(fā)器的入口處。第一個(gè)蒸發(fā)器的二次蒸汽冷凝處即為第二個(gè)蒸發(fā)器的進(jìn)口加熱處。只需控制好各蒸發(fā)器的壓力分配，即可完成這種操作。通入加熱蒸汽的第一個(gè)蒸發(fā)器為一效，二次蒸汽通入的第一個(gè)蒸發(fā)器為二效，依次下一次二次蒸汽通入的蒸發(fā)器為三效。

2.3 四效蒸發(fā)器工作原理

四效蒸發(fā)器是指將四個(gè)蒸發(fā)器串聯(lián)，每一級(jí)蒸發(fā)器產(chǎn)生的二次蒸汽依次進(jìn)入下一級(jí)蒸發(fā)器中作為加熱蒸汽的過程。在四效蒸發(fā)器實(shí)施蒸發(fā)時(shí)，物料在蒸發(fā)器頂部經(jīng)過火配盤被平均散布在各蒸發(fā)管內(nèi)。物料在重力的作用下經(jīng)蒸發(fā)管由上至下流出，在管內(nèi)壁構(gòu)成薄膜，內(nèi)壁的薄膜與外側(cè)的加熱蒸汽實(shí)施熱交流，薄膜液體實(shí)施蒸發(fā)。由于二次蒸汽的流向在各蒸發(fā)器中方向堅(jiān)持分歧，很容易使料液沿著蒸發(fā)管內(nèi)壁散布成薄膜狀態(tài)，提升了傳熱效率。

3、結(jié)語

多效蒸發(fā)器提升了蒸發(fā)效率，即二次蒸汽的應(yīng)用率。從上文剖析來看，蒸發(fā)相同水量采用多效蒸發(fā)器更為節(jié)能，需求耗費(fèi)的蒸汽和循環(huán)水量更少。所以在工業(yè)廢水處理中，普通多采用多效蒸發(fā)器如四效蒸發(fā)器，其蒸發(fā)效率更高，應(yīng)用更為普遍。