生產(chǎn)多晶硅大都運用改進西門子法，改進西門子法在生產(chǎn)環(huán)節(jié)中產(chǎn)生大量的化學(xué)廢氣和殘留液體。氯硅烷和硅粉是化學(xué)廢水所包含的主要成分。氯硅烷極易被水分解，在實踐生產(chǎn)處置中，用低濃度的氫氧化鈉溶液以及含有氯硅烷的殘留液體對廢氣實施噴淋。鹽酸、氯硅烷和水會發(fā)作化學(xué)反響從而得到多晶硅生產(chǎn)廢水，廢水經(jīng)生產(chǎn)廢水經(jīng)工業(yè)污水處理設(shè)備，構(gòu)成硅膠及含氯的廢水，硅膠可經(jīng)過固液別離的方式別離出來再放入固廢堆積處集中處置。硅膠被別離出來后就剩下的含氯廢水，即鹽類廢水，對這些高濃度鹽類廢水可運用廢水蒸發(fā)器對其濃縮結(jié)晶，再將結(jié)晶別離出來，留下液體可再次應(yīng)用以降低企業(yè)的本錢投入。

　　一、蒸發(fā)器的工作原理及鹽類廢水蒸發(fā)特性

　　1. 1 工作原理

　　由于鹽類廢水不能自行揮發(fā)，為了對廢水實施處置，只能應(yīng)用蒸發(fā)器實施處置，鹽類廢水為飽和液體，經(jīng)過蒸發(fā)器使其水分蒸發(fā)，而廢水的濃度將會上升，當(dāng)其濃度到達在當(dāng)下溫度溶解度的臨界點，溶質(zhì)將不能再被溶解就會被析出。

　　由于蒸發(fā)過程中溶液中的水會被汽化，從而產(chǎn)生水蒸氣，水蒸氣必需引導(dǎo)至其他中央，由于水蒸氣將和溶液產(chǎn)生牽輪作用，不飽和液領(lǐng)會再次變成飽和液體，氯化鈉無法結(jié)晶析出。那么將水蒸氣導(dǎo)入冷凝設(shè)備當(dāng)中，讓其冷凝，若直接實施這一冷凝環(huán)節(jié)，這一過程就是單效蒸發(fā)。那么多效蒸發(fā)的流程便是二次蒸汽被引導(dǎo)至下一級蒸發(fā)器，并且對其起到加熱作用。

　　蒸發(fā)其實是一種熱量的傳送過程，液體到達沸點汽化的過程就是溶液與冷凝蒸汽之間的熱傳導(dǎo)。

　　1.2 蒸發(fā)特性

　　1.2.1 熱量傳送

　　傳熱性是溶液蒸發(fā)的特性之一，溶液的外表即為分界面，外表以上溶液呈汽化，外表以下溶液呈液化，決議其狀態(tài)的即沸點。溶液到達沸點即汽化，在空氣遇冷又將變?yōu)樗魵猓诜悬c的臨界點傳熱壁面的兩方都在不停發(fā)作變化，這一個流程能夠看做是：溶液受熱——沸騰——到達沸點——汽化——水蒸氣遇冷——冷凝液化。因而這一個過程也是傳熱過程。

　　1.2.2 沸點的變化

　　不含其它溶質(zhì)的溶液稱之為H2O(水)。在一個規(guī)范大氣壓之下，水的沸點在99.975攝氏度，當(dāng)水中參加其它溶質(zhì)其沸點將隨之改動，鹽類廢水當(dāng)中含有Nacl，那么在規(guī)范大氣壓之下鹽類廢水的沸點也隨之上升。若鹽類廢水的濃度越高，其沸點和純水的沸點差值越多。

　　1.2.3 溶液性質(zhì)加強

　　溶液在加熱蒸發(fā)過程中，其濃度會隨之增加，因而溶液的酸堿性特征也會變強。例如自身濃度不高的腐蝕性液體，在蒸發(fā)過程中水分變少，參與稀釋的水分持續(xù)減少，液體濃度增加，其腐蝕性能增加，因而操作人員在蒸發(fā)有害廢水過程中要格外留意。

　　1.2.4 產(chǎn)生固廢

　　鹽類廢水在水分蒸發(fā)過程中，濃度增加，析出鹽分晶體，同時也會結(jié)垢，產(chǎn)生泡沫。若泡沫不及時從溶液中別離出來，會造成其跟隨溶液飄入溢流管等設(shè)備當(dāng)中，從而形成設(shè)備被污染。

　　二、用于處置多晶硅生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的鹽類廢水的設(shè)備

　　2.1 薄膜蒸發(fā)器

　　隨著科技的開展，處置廢水的設(shè)備越發(fā)先進。薄膜蒸發(fā)器是一種在真空環(huán)境下對廢水實施處置的現(xiàn)代化的蒸發(fā)器。它是由一組可加熱圓筒組成，每一個圓筒內(nèi)具有可旋轉(zhuǎn)功用的刮膜器。溶液在圓筒內(nèi)不時加熱并濃縮，在加熱到一定濃度后將及液體保送至灌中待其降溫結(jié)晶。結(jié)晶過程完成后再將其送入壓濾機中實施固液別離，液體再次送入生產(chǎn)車間循環(huán)運用。

　　2.2 三效蒸發(fā)器

　　三效蒸發(fā)器是同串聯(lián)一效和二效蒸發(fā)器串聯(lián)，第一個蒸發(fā)器產(chǎn)生的二次蒸汽給下一級供熱，經(jīng)過控制設(shè)備內(nèi)部的大氣壓和沸點，把蒸汽到引至下一個蒸發(fā)器的入口。進入第一個蒸發(fā)器的過程為一效，以此類推，二次蒸汽進入后面的蒸發(fā)器即為二效、三效。

　　2.3 四效蒸發(fā)器

　　四效蒸發(fā)器是基于三效蒸發(fā)器的根底上再串聯(lián)一個蒸發(fā)器，其工作原理和三效蒸發(fā)器相似，只是蒸汽需求再進入一個蒸發(fā)器。四效蒸發(fā)器工作時，廢水在蒸發(fā)器上端經(jīng)過處置，進入每一級蒸發(fā)管中。廢水在蒸發(fā)管自上而下流出，構(gòu)成薄膜，同時與蒸汽發(fā)作熱交流反響，廢液蒸發(fā)。且二次蒸汽在每一級蒸發(fā)器的方向分歧，傳熱效率得到極大促進。

　　三、結(jié)語

　　含鹽廢水不經(jīng)處置直接排出會影響到水資源環(huán)境污染，企業(yè)要應(yīng)用蒸發(fā)器，將其鹽剖析出并處置，剩下液體再次循環(huán)至多晶硅生產(chǎn)中運用。三效、四效蒸發(fā)器應(yīng)用二次蒸汽加熱，即提升了蒸發(fā)效率，又節(jié)約了能源，多晶硅生產(chǎn)企業(yè)能夠多加應(yīng)用，儉省運營本錢，提升企業(yè)經(jīng)濟效益。